高精度研磨機的自動檢測系統(tǒng) 

雙面研磨機作為一種先進精密加工設備，已經(jīng)越來越受到經(jīng)濟發(fā)達國家的重視；如何高效地獲得光學材料表面良好的粗糙度、平面度和屈曲度已成為超精密研磨加工技術的重要研究方向。

壓力氣動加載精度、上下盤運行的穩(wěn)定性和高精度的測量裝置的精度是影響研磨設備性能的主要因素。

本文針對雙面研磨控制系統(tǒng)，運用先進的計算機輔助設計技術，先進的監(jiān)測技術，氣壓控制技術，過程控制技術和人性化的HMI人機界面，使不熟練的操作人員，亦能達到高精度加工水平。

拋棄很多廠家使用的PLC主控制器，使用工控機作為主控制器，增強設備的擴展性及盡可能的降低成本。

使用計算機軟件對雙面研磨加工過程進行數(shù)據(jù)參數(shù)設定、生產流程管理并進行進行監(jiān)測與控制，可以方便工廠后期的組網(wǎng)和設備管理，設備維護，實現(xiàn)工廠設備的全監(jiān)控。

使用VB.NET軟件平臺和MS-SQL數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)圖形化界面功能指標，高精度的位移傳感器，高精度氣壓壓力傳感器，高精度數(shù)字比例閥組成聯(lián)合控制系統(tǒng)，實現(xiàn)該機的自動加工及控制。

 高精度雙面研磨機的自動檢測系統(tǒng)主要內容如下 

1、工控機軟件控制系統(tǒng)研究；

2、定尺寸磨削及定時間磨削控制方式研究。使用高精度的高度計(分辨率0.52μm,精度2μm)來實時監(jiān)測研磨工件的尺寸，從而保證工件的尺寸精度；

3、行星運動控制研究及算法。使研磨過程中工件運動軌跡的可變，工件放在游輪內,游輪成為太陽輪和內齒圈所構成差動輪系中的行星齒輪；

4、氣動加壓控制研究。在下氣缸加裝高精度氣壓壓力傳感器時時檢測下氣缸壓力,并將壓力信號反饋給軟件控制系統(tǒng)構成壓力的閉環(huán)控制，來保證能夠精確地控工件的壓力，并保持壓力的穩(wěn)定性；

此外還對機床的砂漿液控制，排液控制，修整控制等自動控制系統(tǒng)；經(jīng)過設備試運行，證明該設備控制系統(tǒng)的整體狀況良好，運行穩(wěn)定,各部分子系統(tǒng)工作正常，通過實驗和用戶的長期使用，對雙面研磨機加工藍寶石材料的加工質量、加工效率、加工精度和加工成本進行檢驗。

高精度數(shù)控雙面研磨機是電子器件基片（藍寶石襯底、多晶硅單晶硅片、先進陶瓷基片）和智能數(shù)碼產品液晶玻璃片的精密數(shù)控加工裝備，市場需求量很大。目前國內雙面研磨機存在速度調節(jié)困難、工藝適應范圍窄等缺陷，很難滿足光學玻璃、LED藍寶石基片等高端產品的加工要求，這些高端產品的加工裝備主要依賴進口。

本文主要以高精度雙面研磨機的自動檢測系統(tǒng)為例說明介紹的。